中微公司：发布用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备PrismoUniMax
2021-09-22 10:36:30 来源：
6 月 17 日消息 从中微公司获悉，今日，中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称中微公司)宣布推出为高性能 Mini LED 量产而设计的 Prismo UniMax MOCVD 设备。
中微公司表示，该设备在帮助 LED 芯片制造商提高产能的同时能够有效地降低生产成本。
据介绍，中微公司 Prismo 系列 MOCVD 设备已进入全球大多数氮化镓基蓝绿光 LED 制造商，此次推出的 Prismo UniMax 是中微公司 Prismo 系列 MOCVD 设备的最新产品，该设备在同一系统中可配备多达 4 个反应腔。Prismo UniMax 配置了多区温度补偿加热系统，具备波长均匀性、重复性和稳定性。
该设备还具有其他一些特征，如通过石墨盘晶片排布的最优化，其加工容量可以延伸到生长 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸晶片。
中微公司 Prismo UniMax MOCVD 设备已收到来自国内客户的订单。
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